真空体系实际上的意思便是真空机组的一个相似的称号，真空机组是由几种真空泵组合而成的一套闭环真空设备，它不见得有一些比方散热器，冷凝器等等设备存在。而一般能称为真空体系的肯定是零部件。真空使用设备品种十分之多，但不管何种真空使用设备都有一套扫除被抽容器内气体的抽气体系，以便在真空容器内取得所需求的真空条件。举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵衔接起来，当真空泵对容器进行抽暇时，容器上要有真空丈量设备，这就构成了一个简略的真空抽气体系。
那么真空体系相比较于机组来说有多少泵组成呢?这个是不确定的，先来认识一下有几率存在的泵的名词解释。
(1)主泵：在真空体系中，用于取得所需求真空度来满意特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油分散泵便是主泵。
(2)前级泵：用于坚持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前装备的旋片或滑阀泵便是前级泵。
(3)粗抽泵：从大气压下开端抽气，并将体系压力抽到另一真空泵开端作业的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，便是粗油泵。
(4)坚持泵：在真空体系中，气量很小时，不能地使用前级泵。为此装备一种容量较小的辅佐泵来坚持主泵作业，此泵叫坚持泵。如分散泵处配一台小型旋片泵，便是坚持泵。
事实上简略的真空体系仅仅能取得一个粗真空，而想要取得高真空时，一般在真空体系中串联一个高真空泵，比方罗茨泵和螺杆泵等都是取得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后，一般要在高真空泵的进口和别离加上阀门，以便高真空泵能独自坚持真空。假如所串联的高真空泵是一个油分散泵，为防止很多的油蒸气返流进入被抽容器，一般在油分散泵的进口加一个捕集器——水冷障板。依据要求，还能够在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软衔接管道、真空泵进口放气阀，散热器等等，这样就构成了一个较完善的高真空体系。
