主泵：在真空体系中，用于取得所需求真空度来满意特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油分散泵便是主泵。
2、前级泵：用于坚持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前装备的旋片或滑阀泵便是前级泵。
3、粗抽泵：从大气压下开端抽气，并将体系压力抽到另一真空泵开端作业的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，便是粗油泵。
4、坚持泵：在真空体系中，气量很小时，不能有效地使用前级泵。为此装备一种容量较小的辅佐泵来坚持主泵作业，此泵叫坚持泵。如分散泵出口处配一台小型旋片泵，便是坚持泵。
事实上简略的真空体系仅仅能取得一个粗真空，而想要取得高真空时，一般在真空体系中串联一个高真空泵，比方罗茨泵和螺杆泵等都是取得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后，一般要在高真空泵的进口和出口别离加上阀门，以便高真空泵能独自坚持真空。假如所串联的高真空泵是一个油分散泵，为防止很多的油蒸气返流进入被抽容器，一般在油分散泵的进口加一个捕集器水冷障板。依据要求，还能够在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软衔接管道、真空泵进口放气阀，散热器等等，这样就构成了一个较完善的高真空体系。
