本实用新型公开了一种真空热处理设备分散泵保持泵真空机组，真空机组包含分散泵、保持泵、保持阀、真空阀门、前级泵组，所述分散泵出气口经过三通管路件衔接体系阀抽气口和保持阀抽气口；所述保持阀出气口经过真空管道与保持泵抽气口衔接；所述前级泵组抽气口设置有三通真空管路，别离与前级泵组抽气口、预抽阀出气口和体系阀出气口衔接；所述分散泵、保持泵、保持阀、真空阀门、前级泵组衔接工控体系。本实用新型规划合理，设备正常运转的本钱下降。这样在不敞开前级泵组的情况下，能够独自对分散泵进行抽真空，大幅度的下降了能耗，提高了出产功率，实用性强，适于推行。
一种真空热处理炉设备上分散泵的保持泵机组的权利要求说明书内容是....请下载后检查
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